Описание:

Система жидкостного травления пористого кремния µPor - комплексное решение для формирования и электрополировки кремния. 

Главный бак системы оборудован патрубками для постоянного безопасного отвода HF-пара. Для прямого слива HF установлены фторопластовые вентили. Имеется возможность установки оптического окна для формования с участием света. 

Окно изготовлено из устойчивого к HF сапфирового стекла c кварцевыми дисками в качестве защиты от растрескивания и устанавливается в герметичный фланец. В других случаях устанавливается заглушка из непрозрачного полипропилена. Пластина устанавливается в заменяемый держатель и закрепляется двойными уплотнительными кольцами, разделяя бак на две ванны. Далее держатель фиксируется пневматикой. После этого обе ванны с HF изолируются от электричества. 
Два платиновых сетчатых электрода, по одному на ванну, контактируют с пластиной с обоих сторон. Для достижения равномерности эл. поля используются электроды одинакового размера с пластиной. Если требуется полное отсутствие ионов металла в рабочем, поле, электроды выполняются из кремния. При необходимости возможна рециркуляция HF с помощью мембранной помпы. Это позволяет жидкости остывать за счет теплового обмена. Доступны индивидуальные решения по спецификациям заказчика.

 

Основные возможности:

• Формирование пористого кремния
• Контроль параметров химии (состав, рH, температура)
• Различные варианты исполнения: ручные и автоматические системы
• Ламинарный вытяжной шкаф или настольные системы
• Постановка и сдача процесса под задание заказчика

 

Корпус

• Материал: стандартно полипропилен белый, дополнительно PVDF
• Материал дверцы: PP или PMMA, прозрачный ПВХ.

 

Стандартные компоненты

• Важно: доступны индивидуальные вариации комплекта
• Вентили: мембранные и шаровые, различного диаметра
• Помпа: изготовлена из пластика PP, опц. PVDF или PTFE
• Корпус фильтра: PP 10“, опционально PVDF или PTFE 
• Трубопровод из полипропилена, опционально PVDF или PFA, трубки диаметром ½“, ¾“, 1“ с фитингами PFA Flaretek 
• Панель управления: PLC, опционально компьютерное управления

 

Элементы управления, электронные компоненты и пневматика

Все необходимые элементы управления встроены в переднюю панель, все прочие компоненты собраны отдельно в зоне обслуживания на задней стороне устройства, распылители DI-H2O и N2 встроены в рабочую поверхность.

 

Дополнительные опции

• Автоматические манипуляторы 
• Интеграция ванн предварительной и пост обработки
• Ламинарный шкаф
• Быстрое подключение для слива жидкостей
• Работа с электролитами и возможность включения процессов
• Интерфейс для работы с данными о процессе
• Индивидуальные решения

 

Модуль очистки

• Промывочный модуль: стандартная стоп-ванна, ванна быстрого отмыва.
• Модули просушки: стандартные модули центробежной отмывки и сушки пластин.

 

Дополнительные опции для процесса

• Технологическая камера с поддержкой нескольких процессов
• Импульсное осаждение с минимальным межимпульсным интервалом в 0,10 мс